中国半导体制造设备自主化发展动态
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摘要
为实现「国产替代」,中国半导体制造商积极扩产,惟国产替代能否成功,关键仍在制造设备是否能自主化。本篇报告主要在分析现阶段中国半导体制造设备商的发展动态,以及中国在黄光、沉积、蚀刻、研磨、清洗、离子植入等六大制程设备的自主化情况。
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