2023-09-04 拓墣产业研究院

中国半导体薄膜沉积设备发展现状

焦点报告中国半导体

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摘要

随著美国、荷兰、日本相继加入对先进设备的制裁阵列，中国半导体设备的国产化进程正明显加速。作为半导体制程中的三大核心设备之一，薄膜沉积设备的技术难度极高，全球市场被AMAT、Lam Research、TEL、ASM等国际大厂垄断；同时，薄膜沉积设备亦占据前道晶圆制造设备总投资的25%，可谓十分关键。本篇报告以薄膜沉积设备出发，观察中国半导体设备国产化情况，并对主要供应商加以分析。

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